(від фото... і літографія) — 1) Фотомеханічний спосіб виготовлення літографської друкарської форми. Полягає у копіюванні зображення з негатива на світлочутливий шар, що вкриває поверхню літографського каменя (або металевої пластини), у проявленні копії і наступній хім. обробці її, внаслідок якої на поверхні форми утворюються друкуючі та пробільні (проміжні) елементи. З поч. 20 ст. літографські друкарські форми почали витіснятися металевими формами плоского офсетного друку. 2) Відбиток з літографської друкарської форми, виготовлений фотолітографським способом. 3) Фотографічний процес, який полягає у створенні у полімерному світлочутливому шарі (фоторезисті), нанесеному на поверхню напівпровідникової або металізованої діелектричної пластини, "вікон", через які травильний розчин потрапляв би на цю пластину. Такі "вікна" виникають при експонуванні (див. Експозиція) світлочутливого шару в потоці ультрафіолетового випромінювання або в потоці електронів (в результаті експонування цей шар втрачає або набуває здатності розчинятись). Користуючись Ф., створюють, напр., сотні тисяч найдрібніших отворів у масках кінескопів кольорових телевізорів, друковані схеми, напівпровідникові інтегральні схеми.
|
