Головна
Українська Радянська Енциклопедія
Енциклопедичний словник-довідник з туризму
Юридична енциклопедія - Шемшученко Ю.С.
 
Головна arrow Українська Радянська Енциклопедія arrow В-вам arrow ВАКУУМНІ ПОКРИТТЯ
   

ВАКУУМНІ ПОКРИТТЯ

-покриття, нанесені на поверхню металевих і неметалевих виробів у вакуумі. Найпоширенішими є вакуумні захисні покриття Розрізняють В. п. металеві і неметалеві. При формуванні В. п. (мал.) матеріал, що його наносять, розпилюють або випаровують, створюючи направлений потік його частинок, а потім осаджують на поверхні виробу (матеріалу основи). Зчеплення матеріалу покриття із матеріалом основи зумовлене т-рою, способом підготовлення й очищення поверхні виробу, енергією частинок, що їх наносять, різницею коефіцієнта термічного розширення матеріалів основи і покриття тощо. В. п. наносять гол. чин. катодним розпиленням, термічним і електронно-променевим випаровуванням, а також поєднуючи ці способи. Під час катодного розпилення матеріал, що його наносять, "бомбардують" іонами різних елементів. Найпошир. є катодне розпилення у тліючому розряді, який збуджується в аргоні або ін. інертних газах при тиску 2,66-13,3 Па, або (20-100) 10-3 мм рт. ст. і напрузі 1-5 кВ Термічне випаровування провадять за допомогою різних джерел нагрівання і відповідних пристроїв у вакуумі 133 ? 10-3- 133 ?10-7 Па, або 10-3-10-7 мм рт ст. При електронно-променевому випаровуванні використовують електронно-променеві гармати, що генерують електрони з великими швидкостями. Випаровуючи водночас кілька матеріалів, одержують багатокомпонентні і багатофазні покриття (у т ч. дисперснозміцнені). В п. використовують у машинобудуванні, мікроелектроніці, обчислювальній техніці.

Б. О. Мовчан.

Вакуумні покриття

 

Схожі за змістом слова та фрази