Головна
Українська Радянська Енциклопедія
Енциклопедичний словник-довідник з туризму
Юридична енциклопедія - Шемшученко Ю.С.
 
Головна arrow Українська Радянська Енциклопедія arrow електрон-енд arrow ЕЛІОНІКА
   

ЕЛІОНІКА

[від ел(ектрон) та іон] - розділ електроніки, що вивчає явища, пов'язані з взаємодією -іектронних та іонних пучків з речовиною, а також можливість застосування цих пучків у технологічних процесах виробництва електронних приладів. Розвиткові Е. сприяв прогрес у галузі мікро-електроніки на поч. 60-х рр. 20 ст. Завдання Е.- теоретичні й експериментальні дослідження механізму проникання прискорених електронів та іонів у речовину, кінетики й механізму теплових процесів у зон взаємодії пучків з речовиною й поблизу цієї зони, фізико-хім. змін в опромінених ділянках матеріалу тощо. Е. розробляє й методи застосування електронно- та іоннопроменевих процесів для обробки матеріалів: локального випаровування легування, мікро зварювання, полімеризації мономерів тощо.

В П. Деркай